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センターからのお知らせ

2017.03.03

三次元半導体研究センターの装置メンテナンスについて

ご利用者様 各位
日頃より三次元半導体研究センターをご利用いただき誠にありがとうございます。
下記の装置について、メンテナンスを実施するため、一部装置がご利用頂けません。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
記
装置名 　　　　　　実施期間 　　　　　　利用開始予定
真空プレス装置 　３/６(月)～３/９(木) 　３月１３日(月)
FIB 　　　　　　　　３/９(木)～３/１６(木) 　３月２１日(火)
ｽﾄﾚｽﾘﾘｰﾌ装置（CMP） ３/６(月)～３/２４(金) 　３月２８日(火)
※実施期間は、予定となっておりますので、変更等がございましたらわかり次第お知らせいたします。
※なお期間中に緊急のご用やお問い合わせ等がございましたらご連絡ください。
以上
（公財）福岡県産業・科学技術振興財団
三次元半導体研究センター事務室
℡：092-331-8550
E-mail：admin@jiss.ist.or.jp

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