三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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GWに伴う一部機器の利用停止期間について

平素より格別のお引き立てをいただき厚くお礼申し上げます。
当センターでは、誠に勝手ながら一部の装置において、以下の期間を機器利用停止期間とさせていただきます。

〇利用停止する装置
下記装置において、水洗槽などの掃除を行うため。
【水平ライン室】
基板用現像装置、ソフトエッチ水洗槽、レジスト剥離装置、基板用ケミカルエッチング装置
【めっきライン室】
 積層前粗化処理装置、デスミア装置、無電解銅めっき装置、電解ビアフィルめっき装置
〇機器利用停止期間
令和8年4月27日(月)から5月8日(金)まで
〇機器利用停止期間のお問い合わせ
お問い合わせ専用フォーム又は「R8年度 GWに伴う機器利用停止期間について」に記載されたお問い合わせまでご連絡ください。

ご利用の皆様には大変ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解、ご協力のほどよろしくお願いいたします。