利用料金
福岡超集積半導体ソリューションセンター（R8.4.1から適用）
基本料金＋機器利用料＋工賃（必要な場合のみ）＋マニュアル作業エリア使用料（必要な場合のみ）＋消費税 を請求します。※なお、R8.4.1からは、これまで機器利用料金に加算しておりました「機器更新等特別付加料金」は廃止いたします。
基本料金
クリーンルーム室料 ３，２５０円／日・人
クリーンルーム以外室料 １，３００円／日・人
① 上記の金額に、使用日数を乗じる
② 複数の者が使用する場合は、①にその人数を乗じる
③ 併用して使用する場合は、合算した金額
機器利用料
マニュアル作業エリア使用料
マニュアル作業エリア使用料 １，０００円／時間
該当場所は次のとおり。
・マニュアル作業：水平ライン、めっきライン（①～③）
・ドラフト：CR-D、CR-E（超純水、フッ酸用）、CR-G、めっきライン
減免措置
県内中小企業の料金減免
福岡県内の中小企業又は福岡県外の中小企業であって、福岡県内に事業所を有し、かつ利用者の勤務地が当該事業所であるものについては、５分の１を減免いたします。
※減免を受ける場合は、必ず機器の利用実績報告までに減免に該当することが分かる資料を準備のうえ、当センターへ申し出るようお願いいたします。
（旧）三次元半導体研究センター（～R8.3.31まで）
基本料金＋機器利用料＋工賃（必要な場合のみ）＋機器更新等特別付加料金＋消費税 を請求します。
基本料金
クリーンルーム室料 ２，５００円／日・人
クリーンルーム以外室料 １，０００円／日・人
① 上記の金額に、使用日数を乗じる
② 複数の者が使用する場合は、①にその人数を乗じる
③ 併用して使用する場合は、合算した金額
（旧）社会システム実証センター（～R8.3.31まで）
基本料金＋機器使用料＋消費税 を請求します。
- 基本料金
- 室料 １，０００円／日・人
①上記金額に、使用日数を乗じる
②複数の者が利用する場合は、①にその人数を乗じる
③併用して使用する場合は、合算した金額 - 機器使用料
- 各機器の時間単価に使用時間を乗じる