クリーンルームD アーカイブ

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  高温クリーンオーブン

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  ストレスリリーフ研磨装置

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  オートマチックダイシングソー

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  オートマチックサーフェースグラインダー（バックグラインダー）

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  照射器移動方式紫外線照射装置
  （UV照射機）

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  ウェーハ/支持基板剥離装置
  Wafer/Substrate Removal Machine
  （ガラス(支持)基板剥離装置）

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  ウェーハ/支持基板貼付装置
  Wafer/Substrate Attachment Machine
  (ガラス(支持)基板貼合せ装置)

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  乾燥炉