三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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半導体用クリーンルーム対応リフロー炉(8インチ/12インチウェハー)

ウェハ アーカイブ

  • 2026-05-12

    半導体用クリーンルーム対応リフロー炉(8インチ/12インチウェハー)
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    ウエハープラズマクリーナー
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    有機溶剤現像装置
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    フリップチップボンダー
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    8インチ用ウェハマニュアル洗浄装置
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    リアクティブイオンエッチャー
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    二流体洗浄装置
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    スピンコーター
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    マイクロフォーカスX線透視装置
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    マニュアルめっき装置(Ni/Auめっき)
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    乾燥炉
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    ウェハ用電解銅めっき
    (ウェハ銅ポストめっき)
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    縦型酸化炉
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    ワイヤーボンダー
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    反応性イオンエッチング装置
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    ガラス(支持)基板貼合せ装置
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    ガラス(支持)基板剥離装置
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    チタン/Cu スパッタ
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    マニュアルめっき装置(SnAgめっき)
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    ストレスリリーフ研磨装置
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    ウェハーカップ式銅メッキ装置
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    アルカリデベロッパー
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    高温クリーンオーブン
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    オートマチックサーフェースグラインダー
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    照射器移動方式紫外線照射装置
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    電解Niめっき