三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団
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TSVTEG (Via Last)-HPW0101
~株式会社WALTS社共同開発~
概要
関連機器
概要
TSVを三次元積層した際の発熱による評価解析を行うためのテストチップ開発を行い企業開発に貢献する
HPW0101仕様
プロセス課題
関連する機器
本事例に関連する機器を紹介します
反応性イオンエッチング装置
三次元半導体研究センター
ウェハ
クリーンルームF
リアクティブイオンエッチャー
三次元半導体研究センター
ウェハ
クリーンルームF
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