三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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事例

TSVTEG (Via Last)-HPW0101
~株式会社WALTS社共同開発~

概要

TSVを三次元積層した際の発熱による評価解析を行うためのテストチップ開発を行い企業開発に貢献する

HPW0101仕様


プロセス課題

関連する機器 本事例に関連する機器を紹介します