三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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事例

高周波信号品質

概要

要求周波数上昇及びアプリケーションの拡大

  • スパコン、サーパー、ギガピットルーター:5Gbps⇒10Gbps
  • 携帯機器用RFモジュール:1.5GHz⇒3GHz
  • ワイヤーレスHDMI:up to 60GHz
  • 衝突防止センサー:77GHz
  • ミリ波画像処理システム:94GHz

テフロン等高価材料から安い材料&設計+簡単プロセスの狙い
→現状のニーズは…配線表面粗さ、層間絶縁材料等の影響調査

共同研究事例(メック株式会社)

メタルライン表面粗さ影響伝送評価用基板

基板仕様

  1. 基板構成
    2-2-2ビルドアップ基板
    コア基板上下にABF材を2層ラミネート
  2. 層構成
    ①Layer1:測定用GSG type Pad 及び top GND layer
    ②Layer2:配線層
    ③Layer3:bottom GND layer
    ④layer4~6:ダミー
    ⑤Via1:Layer1-signal padとLayer2信号線間接続
    ⑥Via2:Layer1-Layer3間接続
    ⑦SR1:表面ソルダレジスト測定pad開ロ
    ⑧SR2:裏面ソルダレジスト
  3. 基板型名
    SIPOS RF0202

S-parameter 測定結果

  1. 表面粗さによる伝送損失の差が確実に観察できる。
  2. FlatBONDは未処理の物とほぼ同じ特性で有ってCZ処理の物に比較すると50GHz周波数で10dB/mの差か観察された。

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