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事例
概要
背景
狭ピッチTSV、微細配線評価を目的にSI15 TEGを作成した。
1㎛以下の微細配線形状（凹／凸）について、その実現性や一部の電気特性（マイグレーション等）の評価が可能である。
設計概要、イメージ
開発内容
- 狭ピッチTSV：
10㎛ ○ / □ → 20㎛ピッチ、40㎛ピッチ
20㎛ ○ / □ → 40㎛ピッチ
40㎛ ○ / □ → 80㎛ピッチ - 微細配線：
0.5㎛、1、2、3、4、5～10㎛櫛歯&PAD、
0.3㎛、0.4㎛、0.5㎛～1.0㎛、10㎛、20㎛、50㎛スペース
評価結果および評価進捗状況
研究課題および今後への動き
- 微細配線形式方式：凸型配線の限界
- 微細配線の電気特性評価：マイグレーション
