Showcases
事例

ViaFistTSV

①スピンコーター
②微細パターン加工装置
③アルカリデベロッパー
④リアクティブイオンエッチャー
⑤８ｲﾝﾁ用ｳｴﾊﾏﾆｭｱﾙ洗浄装置
⑥縦型酸化炉
⑦Via 内シードメタル形成
⑧ｳｴﾊｰｶｯﾌﾟ式銅めっき装置
⑨ストレスリリーフ装置

⑩絶縁膜形成装置
⑪表面ｺﾝﾀｸﾄﾎｰﾙﾊﾟﾀｰﾝ形成
⑫酸化膜エッチング装置
⑬超小型蒸着装置
⑭BUMP パターン形成
⑮Cuめっき・はんだめっき
⑯半導体用CR対応リフロー炉
⑰サポートガラス貼付
⑱サーフェースグラインダー

⑲研磨面のストレスリリーフ
⑳裏面絶縁膜形成
㉑裏面ｺﾝﾀｸﾄﾎｰﾙﾊﾟﾀｰﾝ形成
㉒裏面酸化膜エッチング
㉓無電解 Ni/Auめっき
㉔サポートガラス剥離
㉕オートマチックダイシングソー

完成

電極形成のためのSiへの穴加工

電極を銅めっきで形成

三次元積層の為のポスト形成

ウエハー研削とCu/Si

Ni/Auバンプ形成

リアクティブイオンエッチャー

ウェハーカップ式銅メッキ装置