三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

スルーホールフィリング

概要

部品内蔵基板、半導体パッケージコア基板、パワーモジュール基板へのスルーホールフィリング技術

背景

  • スルーホールの低抵抗化
  • スタックビア時の工程削減
  • 放熱性の向上
  • スルーホール内のCTEミスマッチ改善による信頼性の向上

TH径Φ200μm以下向け PPR電解めっきによるスルーホールフィリング

PPR電解を用いたTHフィリング手法
PPR電解を用いたTHフィリング結果

TH径Φ200μm以上向け Cu凸構造を利用したスルーホールフィリング

Cu突起を利用したTHフィリング手法
Φ200μm以上スルーホールフィリングデイジーチェーン構造サンプル作成結果

関連する機器 本要素技術に関連する機器を紹介します