三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

13 乾燥炉200℃

基板
研究開発棟(旧 三次元C)
水平ライン室

機器外観

概要

No. 13
機器名 乾燥炉200℃ 
メーカー ヤマト科学(株)
型番 DE-610U
装置概要 ソルダーレジストやビルドアップフィルム等の樹脂材料の硬化や銅配線のアニール処理、基板の乾燥等に使用します。
定値運転、オートスタート運転、オートストップ運転、およびプログラム運転が可能で、樹脂特性に合わせた条件での硬化が可能です。
料金/時間 3,900円
主な仕様 使用温度範囲: 室温+50~200℃
最高温度到達時間: 約60 min (to 200℃)
タイマー設定: 1分~99時間59分、および100~999時間
特徴 ・クラス100対応のクリーンオーブンです。
・プログラム運転は最大16セグメントまで設定可能なため、必要に応じて最適なプロファイルを設定することが可能です。

設置場所

予約状況

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