Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 47 |
| 機器名 | ８インチ用ウェハマニュアル洗浄装置 |
| メーカー | マック産業機器（株） |
| 型番 | ME-100-1009 |
| 装置概要 | ウェハーの表面に付着した汚染物質や不純物を取り除くために使用する装置です。 超純水による洗浄が可能で、洗浄の度合いを水の比抵抗値を観察しながら処理ができる装置です。 |
| 料金/時間 | 3,600円 |
| 主な仕様 | ◆装置寸法 W 1300×D 1150×H 2110 mm ◆超純水接続済 ◆最終洗浄槽に比抵抗計装備 |
| 特徴 | ◆２段階純水リンス洗浄処理 |
設置場所
予約状況
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