三次元半導体研究センター アーカイブ

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  基板用Ni/Auめっき

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  二流体洗浄装置

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  チタン/Cu　スパッタ

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  マニュアルめっき装置（Ni/Auめっき）

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  （ウェハ銅ポストめっき）

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  ピール試験機

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  マイグレーション評価装置

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  レーザー顕微鏡

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  ウエハープラズマクリーナー

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  プリント基板真空プレス装置

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  ダブルパルステスター

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  120GHzネットワークアナライザ

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  基板パラメータ測定システム

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  ＴＤＲオシロスコープ

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  高周波パラメータ測定システム

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  プロービングシステム（120GHz）

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  プロービングシステム

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  自動研磨機
  (64 研磨濾過器含む）

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  自動切断機

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  衝撃試験装置

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  恒温恒湿振動試験機

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  プリント配線板用ＵＶ＋CO₂レーザ加工機
  （Dual（UV＋CO₂） LASER Drilling Machine）