研究開発棟（旧　三次元C） アーカイブ

• 2026-05-12

  半導体用クリーンルーム対応リフロー炉（８インチ／１２インチウェハー）

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  ピール試験機

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  ソフトエッチ水洗装置

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  基板用バフ研磨装置

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  プリント基板用直接描画装置

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  ウエハープラズマクリーナー

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  有機溶剤現像装置

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  FE-SEM (電界放出型分析走査電子顕微鏡)

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  フリップチップボンダー

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  超音波探傷装置

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  ８インチ用ウェハマニュアル洗浄装置

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  電解ビアフィルめっき装置

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  真空ラミネータ

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  リアクティブイオンエッチャー

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  酸化膜エッチング装置

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  基板用Ni/Auめっき

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  ボンドテスタ

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  積層前粗化処理装置

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  自動研磨機
  (64 研磨濾過器含む）

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  プリント基板外形加工機（プリント基板ルーター）

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  絶縁膜形成装置

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  ＴＤＲオシロスコープ

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  二流体洗浄装置

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  120GHzネットワークアナライザ

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  プロービングシステム（120GHz）

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  スピンコーター

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  ピン立て装置（プリント基板用ピン立て装置）

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  マイクロフォーカスX線透視装置

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  プリント基板穴明機（プリント基板ドリル穴明機）

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  マニュアルめっき装置（Ni/Auめっき）