三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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鉛フリー対応N2リフロー装置

研究開発棟(旧 三次元C) アーカイブ

  • 2026-05-12

    鉛フリー対応N2リフロー装置
  • 2026-05-12

    大型基板対応フリップチップボンダ
  • 2026-05-12

    乾燥炉
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    プリント基板用プラズマクリーナー
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    プリント基板用X線ガイド穴明機
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    プリント配線板用UV+CO₂レーザ加工機
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    FIB
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    ウェハ用電解銅めっき
    (ウェハ銅ポストめっき)
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    縦型酸化炉
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    ワイヤーボンダー
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    反応性イオンエッチング装置
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    ガラス(支持)基板貼合せ装置
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    ガラス(支持)基板剥離装置
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    自動切断機
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    チタン/Cu スパッタ
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    恒温恒湿振動試験機
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    基板用ケミカルエッチング装置
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    高周波パラメータ測定システム
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    内蔵部品検査装置
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    マニュアルめっき装置(SnAgめっき)
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    クリーンローラー
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    マイグレーション評価装置
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    デジタルマイクロスコープ
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    予熱ラミネーター
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    乾燥炉200℃
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    プロービングシステム
  • 2026-05-12

    乾燥炉360℃
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    プロダクションモジュラー
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    基板用現像装置
  • 2026-05-12

    ストレスリリーフ研磨装置