共同利用機器
レーザー顕微鏡
検査室
プロービングシステム
電気特性評価室
プリント基板用直接描画装置
クリーンルームB
リアクティブイオンエッチャー
クリーンルームF
デスミア装置
めっきライン室
機器一覧