2015.02.04
- 三次元半導体研究センター
設備共用化セミナーのご案内
設備共用化セミナーのご案内
第1回 「スピンコーター、縦型酸化炉について」
第2回 「リアクティブイオンエッチャーについて」
平成27年2月17日（火）に三次元半導体研究センターにて設備共用化事業における「スピンコーター、縦型酸化炉」「リアクティブイオンエッチャー」のセミナーを開催いたします。
今回のセミナーでは、装置の構成や特徴及びエッチング後の表面形状測定、成膜後の膜厚測定方法など、基本的な装置の説明から装置操作や応用例の説明により、装置の有効利用への理解を深めていただける内容となっております。
★以下よりダウンロードしてご利用ください。
