施設案内
三次元半導体研究センター施設案内
当センターでは、三次元半導体研究開発、開発試作・企業集積及び、中小・ベンチャー育成支援を実現する様々な施設・機器を提供します。
クリーンルーム
清浄度クラス1000の部屋が7室。うち、紫外線をカットするイエロールームを２室完備。
工程の主な機能はSi極薄研磨、TSVを想定したSi加工及び配線形成です。また、半導体テスター、電子顕微鏡、Ｘ線透視等の解析設備も完備しています。
クリーンルームB
クリーンルームC
クリーンルームD
クリーンルームE
クリーンルームF
クリーンルームG
めっきライン室
電解めっき、無電解めっき、デスミア・表面粗化工程等から構成され、部品内蔵基板のCu配線のめっきを行います。
また内蔵する部品の接続方法として銅めっきを用いる応用技術にも対応できるラインとなっています。
実装エリア、機械加工室、電気特性評価室など
実装エリアでは、表面実装をベースとしたリフロー装置やフリップチップボンダー、内蔵部品検査装置などを設置しており、はんだ実装はもとより、部品内蔵基板の部品搭載を目的としてご利用いただけます。また、機械加工室ではプリント配線基板の穴加工および外形加工機を設置しています。
実装エリア
機械加工室
信頼性試験室
プレス室
分析関連機器
水平ライン室
部品内蔵基板の配線形成のためのウエットラインで、現像工程・配線形成・レジスト剥離工程からなり、配線基板は水平に流れていくことを総称して水平ラインと呼んでいます。
交流ホール
シャワールーム
社会システム実証センター施設案内
当センターでは地元企業、大学の技術を実証を通じて製品レベルへ導き、地元企業のニーズを実現する商品サービスの開発支援を実証を通じて実現させる様々な施設・機器を提供します。又、少人数でのミーティングからセミナー、講演会、各種プレゼンテーション等、皆様 の用途に合わせてご利用いただける施設も完備しております。
1階はIoT機器の開発ができ、２階及び３階は研究開発ラボやシェアードオフィス等としてご利用いただけます。
無線通信評価開発室
アンテナや携帯電話から放射される電波の測定評価を行う電波暗室です。
米国CTIA規格に準拠したETS-Lindgren社無線通信性能測定システムAMS-8500を備えており、 携帯電話や無線LAN機器などのワイヤレス通信機器のOTA(Over the Air)試験を実施することが可能です。
その他の機器
組込みシステムや無線（携帯電話・Wifi）開発の試作支援・機能測定にご利用いただける機器をご用意しています。
組込みシステムでは組込みCPU用の開発キットや各種バス等のモニタシステムなど、無線関係では各種計測機、ノイズジェネレータなど、 また３次元プリンタや基板切削機などは製品試作時に幅広くお使いいただけます。
商談室1，2
各6名程度収容可能です。
入居者の方は無料でご利用いただけます。
セミナー室1，2
セミナー室1は50名程度収容可能で、170インチの電動スクリーンを完備。
セミナー室2は約30名程度収容可能です。
また、2室一体利用も可能となっています。
休憩室
和室のゆったり寛げる休憩室です。
