基板
三次元半導体研究センター
クリーンルームB
クリーンルームD
クリーンルームE
水平ライン室

• 概要
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No.	7, 13, 23, 23-2, 23-3
機器名	乾燥炉
メーカー	ヤマト科学（株）
型番	DE610U、DT610
装置概要	レジスト材料のPEB、ソルダーレジストやビルドアップフィルム等樹脂材料の硬化に使用します。 定値運転、オートスタート運転、オートストップ運転、およびプログラム運転が可能で、樹脂特性に合わせた条件での硬化が可能です。
料金/時間	3,000円
主な仕様	乾燥炉 200℃【DE610U】（7 CR-B、13 水平ライン） 　使用温度範囲: 室温＋50～200℃ 　最高温度到達時間: 約60 min (to 200℃) 　タイマー設定: 1分～99時間59分、および100～999時間 乾燥炉 360℃ 【DT610】（23 CR-B） 　使用温度範囲: 室温＋30～360℃ 　最高温度到達時間: 約80 min (to 360℃) 　タイマー設定: 1分～99時間59分、および100～999時間 乾燥炉（23-2 CR-E） 乾燥炉Si専用（23-3 CR-D）
特徴	・クラス100対応のクリーンオーブンです。 ・プログラム運転は最大16セグメントまで設定可能なため、必要に応じて最適なプロファイルを設定することが可能です。