Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 12 |
| 機器名 | 真空ラミネータ |
| メーカー | ニッコー・マテリアルズ社 |
| 型番 | V-160 |
| 装置概要 | 感光材等のフィルム材料を基板へ貼り付けるための装置です。 フィルムを貼り付ける際、しわやボイドが生じないよう、基板を加熱しながら真空条件下で加圧することで、フィルムの平坦性、密着性を向上させます。 |
| 料金/時間 | 7,800円 |
| 主な仕様 | チャンバーサイズ: 654 x 644 x 10 mm パネルサイズ (有効面) : 610 x 610 mm サンプル厚: ～6.0 mmt 温度: max 180℃ 圧力: max 0.5 MPa 真空度: 1 hPa以下 |
| 特徴 | ・レジスト材料、およびビルドアップ材料等を基板やウェハへ貼り合わせることが可能です。 ・ (1) チャンバー内の真空引き (2) 上部ゴムシートの真空開放によるスラップダウン (3) 圧縮空気による上部ゴムシートからの加圧 上記プロセスにより、基板に対する密着性、平坦性、追従性が向上します。 |
設置場所
予約状況
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