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Technology Database
技術データベース

19 大型基板対応フリップチップボンダ

基板
三次元半導体研究センター
実装エリア

機器外観

概要

No. 19
機器名 大型基板対応フリップチップボンダ 
メーカー 東レエンジニアリング(株)
型番 MD3500
装置概要 部品内蔵用の大型基板にチップを搭載するためのフルオートの接合装置です。
トレイによるチップ供給と、基板とチップのアライメントが自動的に行われます。
料金/時間 12,200円
主な仕様 基板寸法(㎜):10L×10W~610L×560W t=0.06×1
基板種類:Glass Epoxy、Cu foil .etc
チップ寸法(㎜):0.8L×0.8W~20L×20W t=0.1~1
サイクルタイム:2.7sec/chip(Face down)
3.5sec/chip(Face up)
アライメント精度(3σ):±5μm(X,Y)
加圧力(N):0.49~49
ヒートツール温度(℃):RT~450 Ceramic heater
ボンディングステージ温度(℃):RT~150 Constant heter
特徴 ・フェイスアップ実装とフェイスダウン実装に対応可能
・大型基板560㎜×610㎜に対応
・グローバルアライメント機能によって、実装エリア内のボンディングテーブルの機械的精度を±5μmを実現
・ツール平行度自動調整機能によって、オペレータの負担を軽減
・ディスペンサー、斜光照明を装備することにより、NCF、UFなど様々な接合条件に対応可能

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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