Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
No. | 19 |
機器名 | 大型基板対応フリップチップボンダ |
メーカー | 東レエンジニアリング(株) |
型番 | MD3500 |
装置概要 | 部品内蔵用の大型基板にチップを搭載するためのフルオートの接合装置です。 トレイによるチップ供給と、基板とチップのアライメントが自動的に行われます。 |
料金/時間 | 12,200円 |
主な仕様 | 基板寸法(㎜):10L×10W~610L×560W t=0.06×1 基板種類:Glass Epoxy、Cu foil .etc チップ寸法(㎜):0.8L×0.8W~20L×20W t=0.1~1 サイクルタイム:2.7sec/chip(Face down) 3.5sec/chip(Face up) アライメント精度(3σ):±5μm(X,Y) 加圧力(N):0.49~49 ヒートツール温度(℃):RT~450 Ceramic heater ボンディングステージ温度(℃):RT~150 Constant heter |
特徴 | ・フェイスアップ実装とフェイスダウン実装に対応可能 ・大型基板560㎜×610㎜に対応 ・グローバルアライメント機能によって、実装エリア内のボンディングテーブルの機械的精度を±5μmを実現 ・ツール平行度自動調整機能によって、オペレータの負担を軽減 ・ディスペンサー、斜光照明を装備することにより、NCF、UFなど様々な接合条件に対応可能 |
設置場所

予約状況
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