Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 30 |
| 機器名 | プリント基板用プラズマクリーナー |
| メーカー | パナソニックファクトリーソリューションズ（株） |
| 型番 | PSX307 |
| 装置概要 | 基板製造において、主にめっき前処理に使用します。 露光・現像後の銅表面のレジスト残渣を除去したり、銅表面の親水性を高めることで、めっき性を向上させます。 |
| 料金/時間 | 6,900円 |
| 主な仕様 | 基板サイズ: 510 x 400 mm (処理保証エリア: 490 x380 mm) 基板厚み: 0.5～2.0 mm 真空到達度: < 3 Pa ガス種: O2, Ar, CF4*1 マスフローコントローラー: O2 10～100 mL/min, Ar 2.5～10 mL/min *1 CF4はArと流路を共有しているため、同時使用はできません。 |
| 特徴 | ・基板表面や電極表面をプラズマ処理により有機膜、酸化膜を除去したり、清浄活性化することにより、めっき性やモールド樹脂の濡れ性が向上します。 |
設置場所
予約状況
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関連する要素技術 本機器に関する要素技術を紹介します
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