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Technology Database
技術データベース

36 基板用無電解めっき装置

基板
三次元半導体研究センター
めっきライン室

機器外観

概要

No. 36
機器名 基板用無電解めっき装置 
メーカー (株)向電工業
型番
装置概要 基板製造において、主にセミアディティブ法 (SAP) で回路形成する際に、シード層を形成するために使用する装置です。
電気を使用しない化学反応によるめっきのため、樹脂上にも銅を析出させることが可能です。
料金/時間 12,200円
主な仕様 対応サイズ: 510 x 407 mm

【プロセスフロー】
 コンディショナー → マイクロエッチ → 酸洗 → プレディップ → キャタリスト → 活性 → 無電解銅めっき

【使用薬液】
 コンディショナー: OPC-370 コンディクリーンELA
 ソフトエッチ: OPC-465 ソフトエッチ
 酸洗: 5 wt% H2SO4
 プレディップ: OPC プリディップ 49L
 キャタリスト: OPC-50 インデューサー
 活性: OPC-150 クリスター RW
 無電解銅: ATS アドカッパー
特徴 ・化学反応による銅の析出反応を利用することで、樹脂上にも銅シード層を形成する
 ことが可能です。
・標準条件でのシード層厚: 0.5 µmt (20 min処理)

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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