Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 42 |
| 機器名 | アルカリデベロッパー |
| メーカー | ズース・マイクロテック（株） |
| 型番 | SUSS Delta12AQ |
| 装置概要 | 露光したシリコンウェハ及びガラスなどの基板上のレジストを現像するための装置です。 |
| 料金/時間 | 5,400円 |
| 主な仕様 | ・対応ウェハサイズ： 最大 １２ インチΦウェハ（角基板は９インチ角） ・ポリプロピレン製プロセスカップ ・付属チャック： ６インチΦ及び ８ インチΦウェハ用チャック ・ディスペンスアーム機構（モータ駆動方式） ・パドル現像機能 ・スプレー現像機能 ・現像液温調機能 ・表面リンス機能 ・バックサイドリンス機能 ・プロセスカップ排気ダンパー機構 |
| 特徴 | ・チャックを交換することで、６インチΦと８インチΦウェハプロセスに使用可能です。 ・パターン形状に合わせて現像方式の選択が可能です（パドル現像とスプレー現像） ・ディスペンスアーム機構と現像機能を組合せることにより、高いプロセス再現性を有しています。 ・ユーザ毎のレシピ登録と管理が可能です。 ・インターロック機構付プロセスカバーを標準で装備し、作業者の安全に配慮した装置設計です。 |
設置場所
予約状況
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