三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

45 照射器移動方式紫外線照射装置
(UV照射機)

三次元半導体研究センター
ウェハ
クリーンルームD

機器外観

概要

No. 45
機器名 照射器移動方式紫外線照射装置(UV照射機) 
メーカー (株)タカトリ
型番 TUV-M
装置概要 UV硬化型ダイシングフィルムへの紫外線照射を目的とした装置です。
高圧水銀ランプを標準装備し、ワークに窒素を吹き付けながら照射器を移動させ、均一に照射を行うことが可能です。
料金/時間 3,000円
主な仕様 ランプ:高圧水銀ランプ 80W/c㎡
発光長:375mm
灯数:1灯用
照射距離:180~250mm
反射板:コールドミラー集光型
特徴 光量モニターを装備しており、ワーク1枚毎の照射量の確認が可能。

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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