Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 49 |
| 機器名 | ストレスリリーフ研磨装置 |
| メーカー | 北川グレステック |
| 型番 | MAT ARW-681MSⅡ |
| 装置概要 | 本装置は最大φ8インチウエハのCMP実験を手動ローディングで行う装置です。 加工するウエハ1枚ごとに独自にレシピを設定することができます。 ドレスは独立したドレスユニットを持っており、小径スキャンドレスが可能です。 また、ゾーンの制御が可能で研磨パッドの形状を作り込むことが可能です。 |
| 料金/時間 | 10,300円 |
| 主な仕様 | ・プラテンφ610mm（10rpm～120rpm) ・ポリッシングヘッド φ8インチ（5rpm～120rpm) ・ドレス部 φ100ダイヤドレス(マグネットタイプ)、ブラシドレス（10rpm～150rpm) ・スラリー供給 ローラーチューブポンプ ・真空ポンプユニット ドライユニット(トラッパー付) ・装置寸法：W1400×D850×H2200(mm) ・装置重量：約1.5t |
| 特徴 | ・ウエハ加圧にはエアバック機構を有する。 ・単独で可動できるリテーナ部を有する。 ・φ100のドレスを有する。 ・φ100のドレスがスウィープし、かつ可動範囲の速度を分割してコントロールすることが可能。 ・異常事態等に対する安全機構を有する。 |
設置場所
予約状況
下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)
関連する要素技術 本機器に関する要素技術を紹介します
該当するデータが見つかりませんでした。
関連する事例 本機器に関する事例を紹介します
該当するデータが見つかりませんでした。