Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 65 |
| 機器名 | FE-SEM (電界放出型分析走査電子顕微鏡) |
| メーカー | 日本電子（株） |
| 型番 | JSM-7600F |
| 装置概要 | ショットキー電界放出電子銃(T-FEG) およびセミインレンズタイプコニカル対物レンズ採用の高分解能走査電子顕微鏡に、EDS分析機能を搭載した高分解能分析電子顕微鏡です。さらに、従来からの低加速電圧観察専用モード、低角度反射電子検出器、エネルギーフィルタ機能の採用でセラミックスなどの絶縁物や半導体など導電性のない試料観察ができます。また元素分析は、20mm２シリコンドリフト検出器（SDD）を採用し、高スループット分析を提供します。 |
| 料金/時間 | 13,300円 |
| 主な仕様 | ・保証分解能 1.0nm (15kV), 1.5nm (1kV) ・倍率 x25 ～ x1,000,000 ・加速電圧 0.1kV ～ 30kV ・試料照射電流 1pA ～ 200nA ・電子銃 インレンズサーマルFEG ・対物レンズ セミインレンズタイプコニカル対物レンズ ・検出器 上方検出器, 下方検出器,低角度反射電子検出器 ・エネルギーフィルタ 新 r-フィルタ ・ジェントルビーム（極低加速モード） 組込み ・試料室 100mm×40mm試料対応 5軸モータ駆動大形ユーセントリック試料ステージ ・EDS検出器面積 20mm2 ・EDS検出範囲 B～U ・EDSエネルギー分解能 129eV |
| 特徴 | ・セミインレンズタイプコニカル対物レンズ採用による高分解能観察 ・大電流、高安定性のInlens-thermal FEG搭載 ・プローブ電流を自動最適化するACL（開き角自動最適化レンズ）搭載 ・r-Filter搭載で自在に電子エネルギーを選別 ・極表面観察とビームダメージを軽減《Gentle Beamモード搭載》 ・低角度反射電子検出器《LABE》 によるチャージアップ低減観察 ・最大4つの検出器から得られる画像を同時にリアルタイムに観察できる機能を追加し、 常に目的に合う画像信号を簡単に見つけだすことが可能。 ・大照射電流及び微小プローブ径による高分解能分析 ・SDD検出器採用による高スループットEDS分析 |
設置場所
予約状況
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