三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

menu

Technology Database
技術データベース

81 超音波探傷装置
(Scanning Acoustic Tomography)

三次元半導体研究センター
分析
実装エリア

機器外観

概要

No. 81
機器名 超音波探傷装置
(Scanning Acoustic Tomography) 
メーカー (株) SRT
型番 VSA M350
装置概要 本装置は、超音波を応用した映像装置です。3軸スキャナ機構上に設置した超音波探触子を介して超音波の送信と受信を行い、受信信号を映像化し、得られた映像から被検体内部のボイド、クラック等を観察、解析することができます。
料金/時間 8,800円
主な仕様 最大試料サイズ:350mm×350mm

超音波プローブ:
 反射法 25MHzプローブ   焦点距離=25mm
     50MHzプローブ   焦点距離=12.7mm
     100MHzプローブ   焦点距離=5mm

 透過法 20MHzプローブ   焦点距離=∞
特徴 超音波探傷装置は周波数が20kHz以上の、人間の耳には聞こえない超音波を利用して、非破壊で電子部品等の内部を観察します。X線顕微鏡に比べ内部の界面剥離やクラックの検出等に有効です。超音波発振器から超音波を照射し、反射信号を受信する反射法と、透過信号を受信する二種類のモードに対応します。周波数の高いプローブは分解能が優れますが深部の情報が得られ難くなる関係にあります。より厚さのある部品の検査のために透過法での観察も可能です。超音波探傷装置は非破壊で観察可能ですが、超音波の特性上、観察試料を水に入れる必要があります。

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

関連する要素技術 本機器に関する要素技術を紹介します

該当するデータが見つかりませんでした。

関連する事例 本機器に関する事例を紹介します

該当するデータが見つかりませんでした。