三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

L3 ワイヤーボンダー

三次元半導体研究センター
ウェハ
クリーンルームC

機器外観

概要

No. L3
機器名 ワイヤーボンダー 
メーカー Shinkawa
型番 UTC-3000
装置概要 IC チップのボンディングパッドとパッケージのインナーリードを金線で電気的に接続する装置です。
また銅線にも対応するため還元ガス仕様を追加しています。
料金/時間 5,700円
主な仕様 多段スタックダイに対応した様々なループモードを搭載。
ショートトランスデューサ搭載により低イナーシャ化しており、NRS技術搭載により低振動な高速駆動が可能です。
特徴 ボンディング精度:±2.5μm(3σ)
ボンディングスピード:50ms/2mm
ボンディングワイヤ長:最大8mm
制御分解能:XYテーブル 0.1μm、Z軸 0.1μm
ボンディングエリア: X ±28mm、Y ±33mm
ワイヤ径: 金線 φ15~38μm

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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