Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | L7 |
| 機器名 | ウエハープラズマクリーナー |
| メーカー | SAMCO |
| 型番 | PC-1100 |
| 装置概要 | ウェハプロセスにおいて、ウェハ表面の洗浄や表面改質に使用する装置です。 主に、シード層形成前の有機物の除去や、めっき前のレジスト残渣除去、および銅表面の濡れ性を向上させるために使用します。 |
| 料金/時間 | 5,300円 |
| 主な仕様 | 平行平板型プラズマクリーナー 処理モード: RIE (反応性イオンエッチング)、PE (プラズマエッチング) 対応サイズ: 350 x 425 mm ガス種: O2, Ar |
| 特徴 | ・スパッタ前にウェハ表面を清浄化することで、シード層との密着性を向上させます。 ・銅めっき前に表面処理をすることで、レジスト残渣が除去され、かつ銅表面の親水化される ことで、微細配線や小径ビアへのめっき性が向上します。 |
設置場所
予約状況
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関連する要素技術 本機器に関する要素技術を紹介します
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