三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

L9 ピール試験機

三次元半導体研究センター
分析
検査室

機器外観

概要

No. L9
機器名 ピール試験機 
メーカー (株) 島津製作所
型番 EZ-LX
装置概要 溶着または接着されたサンプルを引き剥がす際に必要となる力 (剥離強度) を測定する装置です。
半導体製造工程においては、主に、層間絶縁樹脂やビルドアップ材等の樹脂材料と銅との密着性を評価する際に使用されます。
料金/時間 3,300円
主な仕様 ・本体付加荷重: 最大 5 kN*1
・高精度形: JIS B 7721 0.5級適合
・標準精度形: JIS B 7721 1級適合
 ※キャリブレーションにより自動校正
・クロスヘッド速度範囲: 0.001~1000 mm/min

*1 ロードセルによります
特徴 ・90°引き剥がし試験により、樹脂と銅との密着性を測定することが可能です。

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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