Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | S1 |
| 機器名 | ウェハ用電解銅めっき（ウェハ銅ポストめっき） |
| メーカー | 自家製 |
| 型番 | |
| 装置概要 | ウェハプロセスにおいて、ウェハ上の配線パターンやビアへめっきすることにより、銅配線を形成するための装置です。 電解めっきであるため、レジストで保護されている箇所へはめっきされず、シード層上のみめっきされます。 |
| 料金/時間 | 4,300円 |
| 主な仕様 | 対応サイズ: 6インチ、8インチウェハ 【プロセスフロー】 プラズマクリーナー*1 → 酸洗 → 電解銅めっき 【使用薬液】 酸洗: 10 wt% H2SO4 電解銅: 硫酸銅五水和物, トライザLCN *1 ウェハプラズマクリーナー (No. L7) を使用します |
| 特徴 | ・ウェハ上の配線パターン、およびビアを導通させることで、めっき液中の銅を析出させ、銅配線を形成することが可能です。 ・析出レートは電流密度に依存するため、配線厚みは電流値と時間でコントロールが可能です。 |
設置場所
予約状況
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