三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

menu

Technology Database
技術データベース

S6 二流体洗浄装置

三次元半導体研究センター
ウェハ
クリーンルームE

機器外観

概要

No. S6
機器名 二流体洗浄装置 
メーカー ジャパンクリエイト(株)
型番
装置概要 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の2流体を超音速で噴射し、対象物の表面に微細な泡を発生させ微細な泡が破裂する衝撃波の剪断力により、対象物に触らず洗浄することができる装置です。
料金/時間 5,800円
主な仕様
特徴

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

関連する要素技術 本機器に関する要素技術を紹介します

該当するデータが見つかりませんでした。

関連する事例 本機器に関する事例を紹介します

該当するデータが見つかりませんでした。