三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

S7 基板用Ni/Auめっき

基板
研究開発棟(旧 三次元C)
水平ライン室

機器外観

概要

No. S7
機器名 基板用Ni/Auめっき 
メーカー
型番
装置概要 基板製造において、Padの保護やはんだ濡れ性向上のためのNi/Auめっきを行う装置です。
料金/時間 132,600円
主な仕様 対応サイズ: 250 x 190 mm

【プロセスフロー】
 クリーナー → マイクロエッチ → 活性 → キャタリスト →
 ポストディップ → 無電解Niめっき → 置換Auめっき

【使用薬液】
 クリーナー   :DP-320 クリーン
 マイクロエッチ :過硫酸ナトリウム+硫酸
 活性      :10 mL/L H2SO4
 キャタリスト  :ICP アクセラ KCR
 ポストディップ :10 wt% H2SO4
 無電解Ni    :ICP二コロンGME (NP)
 置換Au     :フラッシュゴールドNC/亜硫酸金塩水溶液 (ノンシアン系)
特徴 ・基板のPadパターンをNi/Auめっきすることで、Pad部を保護することが可能です。
・ボンディングワイヤやはんだとの濡れ性を向上させることができます。

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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