三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

23a 乾燥炉360℃

基板
研究開発棟(旧 三次元C)
クリーンルームB

機器外観

概要

No. 23a
機器名 乾燥炉360℃ 
メーカー ヤマト科学(株)
型番 DT610
装置概要 レジスト材料のPEB、ソルダーレジストやビルドアップフィルム等樹脂材料の硬化に使用します。
定値運転、オートスタート運転、オートストップ運転、およびプログラム運転が可能で、樹脂特性に合わせた条件での硬化が可能です。
料金/時間 3,900円
主な仕様 乾燥炉① 【DE610U】
 使用温度範囲: 室温+50~200℃
 最高温度到達時間: 約60 min (to 200℃)
 タイマー設定: 1分~99時間59分、および100~999時間

乾燥炉② 【DT610】
 使用温度範囲: 室温+30~360℃
 最高温度到達時間: 約80 min (to 360℃)
 タイマー設定: 1分~99時間59分、および100~999時間
特徴 ・クラス100対応のクリーンオーブンです。
・プログラム運転は最大16セグメントまで設定可能なため、必要に応じて最適なプロファイルを設定することが可能です。

設置場所

予約状況

下記で装置の予約状況を確認いただけます。(準備中)

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