Technology Database
技術データベース
機器外観
概要
| No. | 82 |
| 機器名 |
有機溶剤現像装置 （Organic Solvent Developer） |
| メーカー | 滝沢産業（株） |
| 型番 | AD-3000 |
| 装置概要 | 装置は処理室、アーム式スキャンニングスプレー機構、プログラムコンピュータ より構成されます。 処理方法は上面ドアー開閉し、基板を手動にて投入、セット、基板を回転させ薬品の噴霧により薄膜を処理しドアー開閉、基板取り出しをします。 基板は現像後、連続工程で洗浄、スピン乾燥（リンス振り切り）を行います。 ※ 現在、溶剤(Cyclopentanone、PGMEA)の安定供給が難しいため、溶剤は持ち込みをお願いしています。 ご利用希望の場合はあらかじめ担当研究員へご相談お願いいたします。 |
| 料金/時間 | 9,000円 |
| 主な仕様 | 対象基板：シリコン基板 基板サイズ：φ6〞～φ8〞用 基板ホルダー：真空吸着式・メカ式 基板回転数：０〜３０００rpm 可変式 使用薬液；アルカリ系現像液 処理方法；スプレー2スイングアーム式 4 系統3薬液対応方 現像用ノズル １系統 扇形ノズル使用 ノズル交換可能 現像用ノズル ２系統 扇形ノズル使用 ノズル交換可能 現像用ノズル ３系統 扇形ノズル使用 ノズル交換可能 リンス用ノズル １系統 扇形ノズル使用 ノズル交換可能 （バックリンスノズル付、扇形ノズル使用） |
| 特徴 | ワークサイズ MAXφ200mm（φ8〞） 液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作 テフロンエアオペレイトバルブ使用 |
設置場所
予約状況
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