三次元半導体研究センター 社会システム実証センター 公益財団法人福岡県産業 科学技術振興財団

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Technology Database
技術データベース

L5 FIB

三次元半導体研究センター
分析
クリーンルームC

機器外観

概要

No. L5
機器名 FIB 
メーカー JEOL(日本電子)
型番 JIB-4500
装置概要 集束イオンビーム(Focused Ion Beam :FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。イオンは試料との最初の衝突でほとんどの運動エネルギーを消費するため、試料最表面を観察したり、ビーム走査の位置と時間を制御することで、3次元的な加工を施すことも可能です。
料金/時間 13,400円
主な仕様
特徴

設置場所

予約状況

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